D'Applikatioun
Alles-an-een Design, intelligent Struktur a Form.Scan Kapp a Probe Stage sinn zesummen, staark Anti-Vibration Perceptioun an der Serverknäppchen an der Serverce oder automatesch, fir Präzisioun scannen Scannen Positioun ze realiséieren.High-Genauegkeet an de grousse Beräich Probe Gerät erlaabt all interessant Gebitt ze scannen; verschidden Aarte vun der Rezeptiounszoustand Positionéierend.ccd sobcing System fir Echtzäitprobe Beräich observéieren an Positioun; benotzt Servorotor fir CCDS / Elektroniséiert fir d'Modiquantizitéit fir Ealiséiere vun der Erhéijung vun der Erléiser an der Entwécklung.
Schlëssel Funktiounen
1. Scan Kapp a Probe Bühn sinn zesummen zesummegesat, staark Anti-Vibration Leeschtung
2. Präzisioun Laser Detection and Sond-Ausrichtungsapparat mécht Laser Upassung einfach an einfach;
3. Adapt Servomotor fir de Probe nozehuelen manuell oder automatesch ze realiséieren, fir Präzisiounssécherungsanlag ze realiséieren.
4. High-Richtegkeet a grousse Beräich Probe Transfertapparat Erlaabt all interessant Gebitt ze scannen;
5. Optesch Observatiounssystem fir Tippcheck a Probe Positioun.
6. Elektronescht System ass als equilient an einfach fir Ënnerhalt an der Weider Entwécklung entworf.
7. Adopt Fréijoer fir Schwéngung Isolatioun, einfach a gutt Leeschtung.
Spezifizéierung
| Operatioun | Kontaktmodus, Reibungsmodus, | Scan Wénkel | Zoufn |
| Proufgrouss | Ø Pass90mm, H≤20mm | Prouf Bewegung | 0 ~ 20mm |
| Max. Scoréier | X / y: 20μm, z: 2μm | Puls Breet vum Gefierer | 10 ± 2ms |
| Resungsioun | X / y: 0,2 nm, z: 0,05nm | Optesch System | Vergréisserung: 4x, |
| Scort Tauchen | 0.6hz ~ 4.34hz | Daten déi | 256 × 256.512 × 512 |
| Dëschuchen | Xy: 18-Bit D / A, Z: 16-Bit D / A | Feedback Typ | DSP Digital Feedback |
| Donnéeën Sampling | Ee 14-Bit A / D an duebel 16-Bit A / D Multiple Channel gläichzäiteg | ||
| Pchverbriechung | USB2.0 | Feedback samplings Taux | 64.0khz |
| FënsterSenferenzen | Kompatibel mat Windows 98/2000 / XP / 7/8 | ||
Ufank
Gb / t 2985-1991
Richteg Fotoen
