Applikatioun
Alles-zu-eent Design, Smart Struktur a Form.Scan Kapp a Prouf Bühn sinn zesummen entworf, staark Anti-Vibratioun Leeschtung .Precision Laser Detectioun an Sonde alignment Apparat maachen Laser Upassung einfach an einfach.Adapt Servomotor ze fueren der Echantillon Approche Tipp manuell oder automatesch, Präzisioun Scannen Beräich Positionéierung ze realiséieren.High-Genauegkeet a grouss Gamme Prouf Transfermaart Apparat erlaben all interessant Beräich vun Prouf ze scannen; Verschidde Typen vun Scanner meets verschiddene Client Ufuerderunge an Genauegkeet an Scan Gréisst; opteschen Observatioun System fir Tipp kontrolléieren an Prouf positioning.CCD observation system for real-time sample area observation and position;Use servomotor to achieve CCD auto-focusing Electronic system is designed as modular and easy for maintenance and development.Integrated with many working modes control electronics for further development.
Schlëssel Fonctiounen
1. Scan Kapp an Prouf Etapp sinn entworf zesummen, staark Anti-Vibratioun Leeschtung
2. Präzisioun Laser Detektioun a Sondeausrichtung Apparat maachen Laser Upassung einfach an einfach;
3. Adaptéiert de Servomotor fir de Probe, deen d'Spëtzt manuell oder automatesch dréit, fir Präzisioun Scannengebitt ze positionéieren.
4. Héich-Genauegkeet a grouss Gamme Prouf Transfermaart Apparat erlaben all interessant Beräich vun Prouf ze scannen;
5. Optesch Observatiounssystem fir Tippcheck a Proufpositionéierung.
6. Elektronesch System ass als modulär an einfach fir Ënnerhalt a weider Entwécklung entwéckelt.
7. Adopt Fréijoër fir Schwéngungsisolatioun, einfach a gutt Leeschtung.
Spezifizéierung
| Operatioun | Kontaktmodus, Reibungsmodus, | Scan Wénkel | Zoufälleg |
| Prouf Gréisst | Ø≤90 mm, H≤20 mm | Probe Bewegung | 0 ~ 20 mm |
| Max.scannen | X/Y: 20μm, Z: 2μm | Puls Breet vun Approche Motor | 10 ± 2 ms |
| Opléisung | X/Y: 0,2 nm, Z: 0,05 nm | Optesch System | Vergréisserung: 4x, |
| Scan Taux | 0,6 Hz ~ 4,34 Hz | Daten Punkten | 256 × 256,512 × 512 |
| Scannen | XY: 18-Bit D/A, Z: 16-Bit D/A | Feedback Typ | DSP digital Feedback |
| Daten Echantillon | Ee 14-Bit A/D an duebel 16-Bit A/D Multiple-Channel gläichzäiteg | ||
| PC Verbindung | USB 2.0 | Feedback Sampling Taux | 64,0KHz |
| Windows | Kompatibel mat Windows 98/2000/XP/7/8 | ||
Standard
GB / T 2985-1991
Echt Fotoen
